P型GaN和AlGaN外延材料的制备


Autoria(s): 刘祥林; 王成新; 韩培德; 陆大成; 王晓晖; 汪度; 王良臣
Data(s)

2000

Resumo

研究了MOVPE方法外延P型GaN和Al0.13 Ga0.87N的生长工艺,包括掺杂剂量和热退火条件,对材料电学性质的影响。得到了性能优良的P型材料,并研制了InGaN/AlGaN双异质结蓝光发光二极管。

研究了MOVPE方法外延P型GaN和Al0.13 Ga0.87N的生长工艺,包括掺杂剂量和热退火条件,对材料电学性质的影响。得到了性能优良的P型材料,并研制了InGaN/AlGaN双异质结蓝光发光二极管。

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国家863计划,国家自然科学基金

中科院半导体所

国家863计划,国家自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18463

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103869

Idioma(s)

中文

Fonte

刘祥林;王成新;韩培德;陆大成;王晓晖;汪度;王良臣.P型GaN和AlGaN外延材料的制备,高技术通讯,2000,10(8):26

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文