多种基底上溅射沉积ZnO薄膜的结构

在玻璃基底踌地基底上用反应式直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜。用AES和XRD对薄膜结构和组分进行测试，结果表明，五种基底上生长的ZnO薄膜在不同程度上都具有优良的纵向均匀性、明显的c轴择优取和向较高的结晶度，而硅基底上薄膜的结构普遍优于玻璃基底上沉积薄膜。