砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量
| Data(s) |
2000
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| Resumo |
计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式，并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度。 计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式，并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:09:41导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:09:41Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5267.pdf: 297608 bytes, checksum: da277023d2702c9e6b119e9d6a9c28ef (MD5) Previous issue date: 2000 中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王万年;李成基;李韫言.砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量,功能材料与器件学报,2000,6(4):328 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
