在p-Si(100)上溅射法生长ZnO的结构和光学特性


Autoria(s): 姚振钰; 贺洪波; 柴春林; 刘志凯; 杨少延; 张建辉; 廖梅勇; 范正修; 秦复光; 王占国; 林兰英
Data(s)

2000

Resumo

室温下在p-Si(100)上采用直流反应磁控溅射法外延生长了ZnO薄膜。XRD测量表明了ZnO是高度c轴单一取向生长的,XRC测量则表明了ZnO的高质量。在室温下的PL测量中见到了带边发射,其强度与晶体质量有关。

国家863计划

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18433

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103854

Idioma(s)

中文

Fonte

姚振钰;贺洪波;柴春林;刘志凯;杨少延;张建辉;廖梅勇;范正修;秦复光;王占国;林兰英.在p-Si(100)上溅射法生长ZnO的结构和光学特性,功能材料与器件学报,2000,6(4):338

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文