偏振差分反射谱(RDS)测试系统
| Data(s) |
2000
|
|---|---|
| Resumo |
利用RDS测试系统，可以在近垂直入射条件下，测量出样品的反射系数在样品平面内两个互相垂直的方向上的细微差异，即所谓平面内光学各向异性。它对研究半导体材料及其量子阱超晶格等低维结构中的平面内光学各向同性、半导体表面重构和对外延生长过程中的实时监控都具有重要作用。该系统已为研究工作提供了大量数据。 利用RDS测试系统，可以在近垂直入射条件下，测量出样品的反射系数在样品平面内两个互相垂直的方向上的细微差异，即所谓平面内光学各向异性。它对研究半导体材料及其量子阱超晶格等低维结构中的平面内光学各向同性、半导体表面重构和对外延生长过程中的实时监控都具有重要作用。该系统已为研究工作提供了大量数据。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:09:37导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:09:37Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5261.pdf: 317705 bytes, checksum: 3df0590e881e5260f62266ae7b7c7c1a (MD5) Previous issue date: 2000 中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
万寿科;陈涌海;王占国.偏振差分反射谱(RDS)测试系统,功能材料与器件学报,2000,6(4):388 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
