纳米硅薄膜的发光特性研究


Autoria(s): 刘明; 傅东锋; 何宇亮; 李国华; 韩和相
Data(s)

2001

Resumo

研究了nc-Si:H薄膜的光致发光(PL),分析了晶粒尺寸、温度对发光特性的影响。对发光样品,晶粒尺寸有一上限,其值在4~5nm这间。在10~77K,nc-SiH薄膜的发光强度几乎没有变化;当温度高于77K,发光强度指数式下降。随温度升高,发光峰位有少许红移。讨论了nc-Si:H光致发光机理,用量子限制-发光中心模型对实验现象进行了解释。从载流子的激发、复合两方面讨论了发光过程,认为载流子在晶粒内部激发后,弛豫到晶粒界面的发光中心复合发光。

研究了nc-Si:H薄膜的光致发光(PL),分析了晶粒尺寸、温度对发光特性的影响。对发光样品,晶粒尺寸有一上限,其值在4~5nm这间。在10~77K,nc-SiH薄膜的发光强度几乎没有变化;当温度高于77K,发光强度指数式下降。随温度升高,发光峰位有少许红移。讨论了nc-Si:H光致发光机理,用量子限制-发光中心模型对实验现象进行了解释。从载流子的激发、复合两方面讨论了发光过程,认为载流子在晶粒内部激发后,弛豫到晶粒界面的发光中心复合发光。

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国家自然科学基金

中科院微电子中心;北京航空航天大学;中科院半导体所

国家自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18409

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103842

Idioma(s)

中文

Fonte

刘明;傅东锋;何宇亮;李国华;韩和相.纳米硅薄膜的发光特性研究,固体电子学研究与进展,2001,21(1):57

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文