基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化
| Data(s) |
2001
|
|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:09:06导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:09:06Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5191.pdf: 277457 bytes, checksum: d01670ac10de3c464d8e14e7d1b44952 (MD5) Previous issue date: 2001 中科院半导体所;华晶电子集团公司双极设计所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王向东;陈咏梅;王守觉;石林初.基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化,自动化学报,2001,27(3):289 |
| Palavras-Chave | #人工智能 |
| Tipo |
期刊论文 |
