a-Si∶O∶H薄膜微结构及其高温退火行为研究
| Data(s) |
2001
|
|---|---|
| Resumo |
于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:08:54导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:08:54Z (GMT). No. of bitstreams: 1 5164.pdf: 341346 bytes, checksum: 1a298837e7df9c8f52605af1d3210cc2 (MD5) Previous issue date: 2001 国家973计划,国家自然科学基金 中科院半导体所 国家973计划,国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王永谦;陈长勇;陈维德;杨富华;刁宏伟;许振嘉;张世斌;孔光临;廖显伯.a-Si∶O∶H薄膜微结构及其高温退火行为研究,物理学报,2001,50(12):2418 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
