气相和溶液多硫化物钝化InP表面的XPS和AFM研究


Autoria(s): 陈维德; 蔡永康; 苏景隆; 郭伟民
Data(s)

1999

Resumo

国家自然科学基金

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18179

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103727

Idioma(s)

中文

Fonte

陈维德;蔡永康;苏景隆;郭伟民.气相和溶液多硫化物钝化InP表面的XPS和AFM研究,真空科学与技术学报,1999,19(3):21

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文