质量分离的双离子束沉积法生长CeO_2（111）/Si薄膜
| Data(s) |
2001
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|---|---|
| Resumo |
国家973计划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
柴春林;杨少延;刘志凯;廖梅勇;陈诺夫;王占国.质量分离的双离子束沉积法生长CeO_2（111）/Si薄膜,稀有金属,2001,25(6):401 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
