铟镓氮薄膜的光电特性


Autoria(s): 韩培德; 刘祥林; 袁海荣; 陈振; 李昱峰; 陆沅; 汪度; 陆大成; 王占国
Data(s)

2002

Resumo

用金属有机物气相外延设备,在氮化镓/蓝宝石复合衬底上快速外延生长铟镓氮薄膜,并对其进行了X射线三晶衍射、光致发光、反射光谱及霍尔测量等实验测试。确定该薄膜为单晶,其中In组分可以从0增加到0.26;在光致激发下发光光谱为单峰,且峰值波长在360~555nm范围内可调;其发光机理被证实为膜内载流子经带隙跃迁而直接复合;并具有很高的电子浓度。但InGaN薄膜的结晶质量却随着In含量的增加而变差。

国家自然科学基金(No.6 86 1),国家重点基础研究专项经费(No.G2 683)资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18121

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103698

Idioma(s)

中文

Fonte

韩培德;刘祥林;袁海荣;陈振;李昱峰;陆沅;汪度;陆大成;王占国.铟镓氮薄膜的光电特性,半导体学报,2002,23(2):143-148

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文