高线性度外延及注入GaAs Hall器件


Autoria(s): 郑一阳
Data(s)

2002

Resumo

讨论了外延及注入制作的薄层GaAs Hall器件如何获得高的磁线性度。GaAs Hall器件的磁线性度在高磁场下会有偏离,但可以通过外延及注入的过渡层对有源区进行补偿,在合适的有源区和过渡区的浓度和厚度分布中,可以得到在2.5T的强磁场下,±0.04%的高磁线性度。

讨论了外延及注入制作的薄层GaAs Hall器件如何获得高的磁线性度。GaAs Hall器件的磁线性度在高磁场下会有偏离,但可以通过外延及注入的过渡层对有源区进行补偿,在合适的有源区和过渡区的浓度和厚度分布中,可以得到在2.5T的强磁场下,±0.04%的高磁线性度。

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中国科学院半导体研究所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18113

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103694

Idioma(s)

中文

Fonte

郑一阳.高线性度外延及注入GaAs Hall器件,半导体学报,2002,23(5):505-508

Palavras-Chave #半导体器件
Tipo

期刊论文