与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计


Autoria(s): 毛陆虹; 陈弘达; 吴荣汉; 唐君; 梁琨; 粘华; 郭维廉; 李树荣; 吴霞宛
Data(s)

2002

Resumo

用器件模拟的方法,设计了一种与常规CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器,该探测器可与CMOS接收机电路单片集成,对该探测器进行了器件模拟研究,给出了该探测器的电路模型。通过MOSIS(MOS implementation support project)0.35 μm COMS工艺制做了该探测器,实际测试了该器件的频率响应和波长响应,探测器频率响应在1GH以上,峰值波长响应在0.69 μm。

国家自然科学基金资助项目(批准号

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/18111

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103693

Idioma(s)

中文

Fonte

毛陆虹;陈弘达;吴荣汉;唐君;梁琨;粘华;郭维廉;李树荣;吴霞宛.与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计,半导体学报,2002,23(2):193-197

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文