与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计
Data(s) |
2002
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Resumo |
用器件模拟的方法,设计了一种与常规CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器,该探测器可与CMOS接收机电路单片集成,对该探测器进行了器件模拟研究,给出了该探测器的电路模型。通过MOSIS(MOS implementation support project)0.35 μm COMS工艺制做了该探测器,实际测试了该器件的频率响应和波长响应,探测器频率响应在1GH以上,峰值波长响应在0.69 μm。 国家自然科学基金资助项目(批准号 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
毛陆虹;陈弘达;吴荣汉;唐君;梁琨;粘华;郭维廉;李树荣;吴霞宛.与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计,半导体学报,2002,23(2):193-197 |
Palavras-Chave | #光电子学 |
Tipo |
期刊论文 |