用侧向外延生长法降低立方相GaN中的层错密度

尝试用侧向外延（ELOG）方法来降低立方相GaN中的层错密度。侧向外延是在SiO_2/GaN/GaAs图像形底上进行的，对生长所得的立方相GaN外延层用扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）进行了观察和分析，TEM的平面像表明经过ELOG方法生长后，立方相GaN外延层中的层错密度由侧向外延生长前的5 * 10~9cm~(-2)降低至生长后的6 * 10~8cm~(-2)。双晶X射线衍射（DCXRD）测量给出侧向外延前后外延层ω扫描（002）衍射摇摆曲线的半高宽（FWHM）分别为33’和17.8’，表明晶体质量有了较大改善。对立方相GaN侧向外延过程中层错减少的机制进行了讨论。

尝试用侧向外延（ELOG）方法来降低立方相GaN中的层错密度。侧向外延是在SiO_2/GaN/GaAs图像形底上进行的，对生长所得的立方相GaN外延层用扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）进行了观察和分析，TEM的平面像表明经过ELOG方法生长后，立方相GaN外延层中的层错密度由侧向外延生长前的5 * 10~9cm~(-2)降低至生长后的6 * 10~8cm~(-2)。双晶X射线衍射（DCXRD）测量给出侧向外延前后外延层ω扫描（002）衍射摇摆曲线的半高宽（FWHM）分别为33’和17.8’，表明晶体质量有了较大改善。对立方相GaN侧向外延过程中层错减少的机制进行了讨论。

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zhangdi于2010-11-23 13:08:12导入数据到SEMI-IR的IR

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国家自然科学基金（批准号

中国科学院半导体研究所

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