基于VCSEL的RCE探测器光电响应特性

对垂直腔面发射激光器（VCSEL）及由此制成的谐振增强型（RCE）光电探测器进行分析研究。激光器的I_(th) = 3 mA、η_d = 15%、λ_p = 839 nm和Δλ_(1/2) = 0.3 nm；作为探测器，光电流谱峰值响应在839 nm，响应谱线半宽2.4 nm、具有良好的波长选择特性，量子效率5%～35%(0 V～5 V)。优化设计顶镜反射率，还能得到量子效率峰值和半宽优化兼容的VCSEL基RCE光电探测器。

对垂直腔面发射激光器（VCSEL）及由此制成的谐振增强型（RCE）光电探测器进行分析研究。激光器的I_(th) = 3 mA、η_d = 15%、λ_p = 839 nm和Δλ_(1/2) = 0.3 nm；作为探测器，光电流谱峰值响应在839 nm，响应谱线半宽2.4 nm、具有良好的波长选择特性，量子效率5%～35%(0 V～5 V)。优化设计顶镜反射率，还能得到量子效率峰值和半宽优化兼容的VCSEL基RCE光电探测器。

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zhangdi于2010-11-23 13:08:07导入数据到SEMI-IR的IR

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国家自然科学基金资助项目（6 137 2 ，6989626 ，69776 63）,国家“863”计划资助项目（2 1AA122 32，2 1，AA312 8 ）

中国科学院半导体研究所

国家自然科学基金资助项目（6 137 2 ，6989626 ，69776 63）,国家“863”计划资助项目（2 1AA122 32，2 1，AA312 8 ）