硅基二氧化硅波导的应力和偏振相关性的数值分析
Data(s) |
2002
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Resumo |
使用有限元方法分析了硅基二氧化硅光波导的应力分布,结果表明波导主要受横向压应力影响,而且应力主要集中在芯区和包层的界面附近。根据波导的应力分布,得出波导的折射率分布,并使用ADI全矢量方法示解出波导的模式折射率。比较考虑应力和未考虑应力的波导模式折射率可以得出 国家自然科学基金(批准号 |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
邓晓清;杨沁清;王红杰;胡雄伟;王启明.硅基二氧化硅波导的应力和偏振相关性的数值分析,半导体学报,2002,23(11):1196-1200 |
Palavras-Chave | #光电子学 |
Tipo |
期刊论文 |