载流子吸收对SOI Mach-Zehnder干涉型电光调制器性能的影响


Autoria(s): 严清峰; 余金中
Data(s)

2002

Resumo

分析了载流子吸收对SOI材料制作的Y分支型Mach-Zehnder干涉型电光调制器/开关性能的影响,并提出了改进器件性能的一些措施。

分析了载流子吸收对SOI材料制作的Y分支型Mach-Zehnder干涉型电光调制器/开关性能的影响,并提出了改进器件性能的一些措施。

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国家自然科学基金(批准号:6999 54 ),国家自然科学基金(批准号:6989626 ),国家重点基础研究发展规划(No. G2 - 3-66)资助项目

中国科学院半导体研究所

国家自然科学基金(批准号:6999 54 ),国家自然科学基金(批准号:6989626 ),国家重点基础研究发展规划(No. G2 - 3-66)资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17981

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103628

Idioma(s)

中文

Fonte

严清峰;余金中.载流子吸收对SOI Mach-Zehnder干涉型电光调制器性能的影响,半导体学报,2002,23(12):1308-1312

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文