镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响
| Data(s) |
2003
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|---|---|
| Resumo |
用传输矩阵方法，在简化的光学模型基础上，分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR（Distributed Bragg Reflector）的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS（Micro-Electro-Mechanical-System）可调谐光滤波器透射谱的影响。计算表明 国家重点基础研究发展规划（973项目）G2 366 3,自然科学基金重大课题（No. 961 4 3）,863项目2 2AA312 1 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
左玉华;毛容伟;黄昌俊;蔡晓;李传波;成步文;罗丽萍;高俊华;白云霞;姜磊;马朝华;王良臣;余金中;王启明.镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响,光子学报,2003,32(6):661-664 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
