快速热处理对应变InGaAs/GaAs单量子阱激光二极管电子发射和DX中心的影响


Autoria(s): 卢励吾; 张砚华; 徐遵图; 徐仲英; 王占国; Wang J; Ge Weikun
Data(s)

2002

Resumo

研究分子束外延(MBE)生长的应变In_(0.2)Ga_(0.8)As/GaAs折射率梯度变化异质结单量子阱激光二极管的快速热处理(RTA)效应。结果表明,RTA移除了InCaAs/GaAs界面非辐射中心,提高77K光致发光效率和有源层电子发射。同时Al和Ga原子互扩散,也增加了AlGaAs波导层DX中心浓度。RTA处理后样品电流冲击老化实验证明DX中心浓度呈现出相应的增加。这表明DX中心可能是激光二极管性能退化的原因之一。

研究分子束外延(MBE)生长的应变In_(0.2)Ga_(0.8)As/GaAs折射率梯度变化异质结单量子阱激光二极管的快速热处理(RTA)效应。结果表明,RTA移除了InCaAs/GaAs界面非辐射中心,提高77K光致发光效率和有源层电子发射。同时Al和Ga原子互扩散,也增加了AlGaAs波导层DX中心浓度。RTA处理后样品电流冲击老化实验证明DX中心浓度呈现出相应的增加。这表明DX中心可能是激光二极管性能退化的原因之一。

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国家自然科学基金(批准号:6 76 8),国家重点基础研究发展项目(批准号:G2 683),香港科技大学HKUST6135/97P资助的课题

中国科学院半导体研究所;中国科学院半导体研究所光电子工程中心;香港科技大学物理系

国家自然科学基金(批准号:6 76 8),国家重点基础研究发展项目(批准号:G2 683),香港科技大学HKUST6135/97P资助的课题

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17891

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103583

Idioma(s)

中文

Fonte

卢励吾;张砚华;徐遵图;徐仲英;王占国;Wang J;Ge Weikun.快速热处理对应变InGaAs/GaAs单量子阱激光二极管电子发射和DX中心的影响,物理学报,2002,51(2):367-371

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文