铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长


Autoria(s): 彭长涛; 陈诺夫; 张富强; 林兰英
Data(s)

2003

Resumo

采用一种新的生长铁磁/半导体异质结材料的方法——物理气相沉积方法生长了一种铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si.对所获得的样品进行特征X射线能谱分析表明Mn和Sb在Si衬底上的沉积速率相近,它们的原子百分数之比接近1

采用一种新的生长铁磁/半导体异质结材料的方法——物理气相沉积方法生长了一种铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si.对所获得的样品进行特征X射线能谱分析表明Mn和Sb在Si衬底上的沉积速率相近,它们的原子百分数之比接近1

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中国科学院半导体研究所

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17881

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103578

Idioma(s)

中文

Fonte

彭长涛;陈诺夫;张富强;林兰英.铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长,半导体学报,2003,24(5):494-498

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文