降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型
| Data(s) |
2003
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| Resumo |
本文提出用185nm紫外线降低高压纯水中总有机碳（TOC）的能量传递光化学模型。计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系，从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法。根据理论计算出的结果和实验十分一致，主宰了本模型的正确性。使高纯水中的TOC由4200μg/l降至0.3μg/l，是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平。 本文提出用185nm紫外线降低高压纯水中总有机碳（TOC）的能量传递光化学模型。计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系，从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法。根据理论计算出的结果和实验十分一致，主宰了本模型的正确性。使高纯水中的TOC由4200μg/l降至0.3μg/l，是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:07:37导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:07:37Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4983.pdf: 220301 bytes, checksum: 6554d6c632ab64603a18c1941ec2ae81 (MD5) Previous issue date: 2003 同济大学;中科院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
闻瑞梅;梁骏吾.降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型,电子学报,2003,31(11):1601-1604 |
| Palavras-Chave | #半导体化学 |
| Tipo |
期刊论文 |
