线性TSM和TRL校准方法中方程的选择
| Data(s) |
2003
|
|---|---|
| Resumo |
本文分析了校准方程的关系，提出对于互易的测试夹具，使用一个传输标准得到的四个线性方程可以用同时用于校准计算。在这个关系的基础上，讨论了TSM(thru-short-match)和TRL(thru-reflect-line)方法中的方程选择。实验和分析表明不同的选择会导致不同精度的结果，校准精度可以通过利用已建立的关系和合适地选择方程得以提高。已建立的理论也可应用于TOM和LRL方法。 本文分析了校准方程的关系，提出对于互易的测试夹具，使用一个传输标准得到的四个线性方程可以用同时用于校准计算。在这个关系的基础上，讨论了TSM(thru-short-match)和TRL(thru-reflect-line)方法中的方程选择。实验和分析表明不同的选择会导致不同精度的结果，校准精度可以通过利用已建立的关系和合适地选择方程得以提高。已建立的理论也可应用于TOM和LRL方法。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:07:34导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:07:34Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4975.pdf: 223484 bytes, checksum: 820a4bf642a01011805cf05347ef1bd9 (MD5) Previous issue date: 2003 国家重点基础研究发展规划(No.G2 366 1),国家杰出青年科学基金(No.698251 9) 中国科学院半导体所 国家重点基础研究发展规划(No.G2 366 1),国家杰出青年科学基金(No.698251 9) |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
王幼林;陈振宇;钱辰;祝宁华.线性TSM和TRL校准方法中方程的选择,电子学报,2003,31(5):714-716 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
