支撑光网络发展的硅基光电子技术研究
| Data(s) |
2003
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|---|---|
| Resumo |
作为大规模集成电路和化合物半导体光电子器件的制造技术共同构成的一门高新技术，硅基光电子技术越来越受到重视。文章着重介绍中国科学院半导体研究所外延生长SiGe/Si量子结构和Si基器件研究的结果 国家自然科学基金（批准号：6989626 ，6999 54 ）,国家重点基础研究发展计划（批准号：G2 - 3-66）,国家高技术研究发展计划（批准号：2 2AA312 6 ） |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
余金中.支撑光网络发展的硅基光电子技术研究,物理,2003,32(12):810-815 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
