倒装焊组装的光电混合集成RCE探测器面阵
Data(s) |
2003
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Resumo |
报道了一种可用于并行光传输系统的64 * 64光探测器面阵。器件结构采用谐振腔增强型(RCE),吸收区由3层InGaAs/GaAs量子阱构成,谐振腔是由2组多层布拉格反射镜组成,工作波长位于980 nm。该器件利用倒装焊技术,将GaAs基的谐振腔增强型光探测器面阵与相应的Si基标准CMOS集成电路混合集成在一起,形成具备64 * 64路光并行接收及处理的大规模光电集成探测器面阵器件,并对光探测器面阵的主要特性进行了测试,测试结构显示该面阵具有均匀的电特性,反向偏压均大于14 V,暗电流约为10 nA数量级。 报道了一种可用于并行光传输系统的64 * 64光探测器面阵。器件结构采用谐振腔增强型(RCE),吸收区由3层InGaAs/GaAs量子阱构成,谐振腔是由2组多层布拉格反射镜组成,工作波长位于980 nm。该器件利用倒装焊技术,将GaAs基的谐振腔增强型光探测器面阵与相应的Si基标准CMOS集成电路混合集成在一起,形成具备64 * 64路光并行接收及处理的大规模光电集成探测器面阵器件,并对光探测器面阵的主要特性进行了测试,测试结构显示该面阵具有均匀的电特性,反向偏压均大于14 V,暗电流约为10 nA数量级。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:07:20导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:07:20Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4926.pdf: 257043 bytes, checksum: df7eea58e15cca279e049d0de19aa330 (MD5) Previous issue date: 2003 国家自然科学重大资助项目(96989626 ),国家自然科学基金重点资助项目(697898 2),国家“863”高技术资助项目(2 1AA312 8 ,2 2AA31224 ,2 1AA122 32) 中国科学院半导体研究所 国家自然科学重大资助项目(96989626 ),国家自然科学基金重点资助项目(697898 2),国家“863”高技术资助项目(2 1AA312 8 ,2 2AA31224 ,2 1AA122 32) |
Identificador | |
Idioma(s) |
中文 |
Fonte |
裴为华;陈弘达;邓晖;毛陆虹;杜云;唐君;梁琨;吴荣汉;王启明.倒装焊组装的光电混合集成RCE探测器面阵,光电子·激光,2003,14(9):893-896 |
Palavras-Chave | #光电子学 |
Tipo |
期刊论文 |