16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块


Autoria(s): 张弘达; 申荣铉; 毛陆虹; 唐君; 梁琨; 杜云; 黄永箴; 吴荣汉; 冯军; 柯锡明; 刘欢艳; 王志功
Data(s)

2003

Resumo

研究了垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性,将1×16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装(MCM),混合集成为16信道VCSEL光发射功能模块。测试过程中,功能模块的光电特性及其均匀性良好,测量的-3dB频带芝宽度大于2GHz。

研究了垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性,将1×16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装(MCM),混合集成为16信道VCSEL光发射功能模块。测试过程中,功能模块的光电特性及其均匀性良好,测量的-3dB频带芝宽度大于2GHz。

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国家高技术研究发展计划(编号:2 1AA122 32,2 1AA31224 ),国家自然科学基金(批准号:6989626 )资助项目

中国科学院半导体研究所;东南大学射频与光电集成电路研究所

国家高技术研究发展计划(编号:2 1AA122 32,2 1AA31224 ),国家自然科学基金(批准号:6989626 )资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17707

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103491

Idioma(s)

中文

Fonte

张弘达;申荣铉;毛陆虹;唐君;梁琨;杜云;黄永箴;吴荣汉;冯军;柯锡明;刘欢艳;王志功.16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块,半导体学报,2003,24(3):245-249

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文