6H-SiC MOS结构电特性及其辐照效应的研究


Autoria(s): 尚也淳; 张义门; 张玉明; 刘忠立
Data(s)

2003

Resumo

对SiC MOS结构辐照引起的电参数退化及其电特性进行了研究。结果说明

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17699

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103487

Idioma(s)

中文

Fonte

尚也淳;张义门;张玉明;刘忠立.6H-SiC MOS结构电特性及其辐照效应的研究,电子与信息学报,2003,25(3):389-394

Palavras-Chave #微电子学
Tipo

期刊论文