Lanxide技术合成含烧结助剂的复合AIN粉体

高纯度的氮气中，以Al-Mg-Y合金为母合金，利用Lanxide技术合成了含烧结助剂 Y_2O_3的复合AIN粉体．通过扫描电镜、X射线衍射、粒径分析及化学成分分析等检测手段对氮化产物进行表征．实验结果表明，合金氮化反应完全，氮化产物疏松易于粉化．粉化后获得的复合AIN粉体具有纯度高，氧杂质含量低，粒度细小等优点。

高纯度的氮气中，以Al-Mg-Y合金为母合金，利用Lanxide技术合成了含烧结助剂 Y_2O_3的复合AIN粉体．通过扫描电镜、X射线衍射、粒径分析及化学成分分析等检测手段对氮化产物进行表征．实验结果表明，合金氮化反应完全，氮化产物疏松易于粉化．粉化后获得的复合AIN粉体具有纯度高，氧杂质含量低，粒度细小等优点。

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国家自然科学基金（598 2 1）

中科院上海微系统与信息技术所;中国科学院半导体研究所;北京工业大学材料科学与工程学院

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