SOI光电子集成
| Data(s) |
2003
|
|---|---|
| Resumo |
SOI（Silicon-on-Insulator)光电子集成已成为十分引人注目的研究课题，其工艺与CMOS工艺完全兼容，可以实现低成本的SOI基整片集成光电子回路。本文综述了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展，着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构，包括SOI光波导、SOI光波导耦合器、SOI光波导开关、相位阵列波导光栅（PAWG）、基于SOI的光探测器等，并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展。 SOI（Silicon-on-Insulator)光电子集成已成为十分引人注目的研究课题，其工艺与CMOS工艺完全兼容，可以实现低成本的SOI基整片集成光电子回路。本文综述了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展，着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构，包括SOI光波导、SOI光波导耦合器、SOI光波导开关、相位阵列波导光栅（PAWG）、基于SOI的光探测器等，并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展。 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:06:54导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:54Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4852.pdf: 580431 bytes, checksum: 441dd7cc787e4ee407e90c015e15a9ad (MD5) Previous issue date: 2003 中国科学院半导体所 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
余金中;严清峰;夏金松;王小龙;王启明.SOI光电子集成,功能材料与器件学报,2003,9(1):1-7 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
