原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究
| Data(s) |
2003
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|---|---|
| Resumo |
研究了分子束外延中引入原子氢后，原子氢对外延层表面形貌特征形成的诱导作用，原子力显微镜（AFM），测试表明，在（311）AGaAs表面，原子氢导致了台阶状形貌的形成，在这种台阶状表面进一步生长了InAs量子点，测试结果表明其位置分布的有序化受到台阶高度和台阶周期的制约，这为实现量子点结构的有序化控制生长提供了一定的实验参考。 国家自然科学基金（批准号 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
周大勇;澜清;孔云川;苗振华;封松林;牛智川.原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究,半导体学报,2003,24(2):148-152 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
