基于InP／空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器
| Data(s) |
2004
|
|---|---|
| Resumo |
报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器．采用选择性湿法刻蚀，制备出基于InP／空气隙的分布布拉格反射镜，并将该结构的反射镜引人RCE光电探测器．制备的器件在波长1.510μm处获得了约59％的峰值量子效率，以及8GHz的3dB响应带宽，其中器件的台面面积为50μm * 50μm． 报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器．采用选择性湿法刻蚀，制备出基于InP／空气隙的分布布拉格反射镜，并将该结构的反射镜引人RCE光电探测器．制备的器件在波长1.510μm处获得了约59％的峰值量子效率，以及8GHz的3dB响应带宽，其中器件的台面面积为50μm * 50μm． 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:06:51导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:51Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4841.pdf: 212774 bytes, checksum: 264afc3d185760b5d02e384924d876f7 (MD5) Previous issue date: 2004 国家高技术研究发展计划(编号：2 2AA31229Z),国家自然科学基金(批准号：9 2 1 35)资助项目 北京邮电大学光通信中心;中国科学院半导体研究所 国家高技术研究发展计划(编号：2 2AA31229Z),国家自然科学基金(批准号：9 2 1 35)资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
黄辉;王兴妍;王琦;黄永清;任晓敏;高俊华;张胜利;刘宇;祝宁华;马骁宇;杨晓红;吴荣汉.基于InP／空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器,半导体学报,2004,25(2):170-173 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
