GaAs/Si/AlAs异质结不同生长温度Si夹层分布的CV实验研究


Autoria(s): 李永平; 田强; 牛智川; 杨锡震; 吴正龙; 王亚非
Data(s)

2002

Resumo

用MBE生长设备制造了GaAs/Si/AlAs异质结,通过CV法研究了异质结的带阶和GaAs层在不同温度下生长对0.5分子层Si夹层的影响,得到Si夹层的空间分布随GaAs层生长温度的升高而由局域变为弥散的温度效应。

用MBE生长设备制造了GaAs/Si/AlAs异质结,通过CV法研究了异质结的带阶和GaAs层在不同温度下生长对0.5分子层Si夹层的影响,得到Si夹层的空间分布随GaAs层生长温度的升高而由局域变为弥散的温度效应。

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教育部高等学校骨干教师资助计划项目

北京师范大学物理学系;中科院半导体所;北京师范大学分析测试中心

教育部高等学校骨干教师资助计划项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17611

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103443

Idioma(s)

中文

Fonte

李永平;田强;牛智川;杨锡震;吴正龙;王亚非.GaAs/Si/AlAs异质结不同生长温度Si夹层分布的CV实验研究,北京师范大学学报. 自然科学版,2002,38(4):474-477

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文