离子束外延生长(Ga,Mn,As)的退火研究


Autoria(s): 宋书林; 陈诺夫; 周剑平; 柴春林; 杨少延; 刘志凯
Data(s)

2003

Resumo

利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射(XRD)分析了室温条件下离子束外延生长Ga、Mn、As样品,在不同的温度条件下进行退火后组分和元素分布的变化.结果表明退火有助于样品内部元素的均匀分布,温度为400 ℃会导致MnO2和Ga5.2Mn的结晶.

国家自然科学基金,国家重大基础研究计划

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17571

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103423

Idioma(s)

中文

Fonte

宋书林;陈诺夫;周剑平;柴春林;杨少延;刘志凯.离子束外延生长(Ga,Mn,As)的退火研究,真空科学与技术学报,2003,23(5):350-352

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文