原子氢辅助MBE生长的不同晶面GaAs表面形貌


Autoria(s): 魏全香; 牛智川
Data(s)

2004

Resumo

研究了原子氢辅助分子束外延(MBE)中,原子氢对不同晶面GaAs外延层表面形貌特征的诱导作用。原子力显微镜(AFM)测试表明,在GaAs的(311)A和(331)A面,原子氢导致了台阶状形貌的形成。提出了一种简单模型,解释了台阶面形貌形成的物理机制。为最终有序低维纳米表面结构提供了一种实验参考。

国家自然科学基金资助项目(6 176 6,6 2541 ),国家自然科学基金资助项目(6 176 6,6 2541 )

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17439

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103357

Idioma(s)

中文

Fonte

魏全香;牛智川.原子氢辅助MBE生长的不同晶面GaAs表面形貌,半导体光电,2004,25(2):162-164

Palavras-Chave #半导体物理
Tipo

期刊论文