射频CO_2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析


Autoria(s): 侯廉平; 陈培峰; 王圩; 朱洪亮
Data(s)

2004

Resumo

介绍了RF c0

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17435

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103355

Idioma(s)

中文

Fonte

侯廉平;陈培峰;王圩;朱洪亮.射频CO_2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析,激光技术,2004,28(2):137-140

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文