溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
| Data(s) |
2004
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|---|---|
| Resumo |
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因. 采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:06:21导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:06:21Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4723.pdf: 255385 bytes, checksum: 30ba4aecdf4abca7a803074c14171066 (MD5) Previous issue date: 2004 国家自然科学基金,国家重点基础研究发展规划 中科院半导体研究所光电子研究发展中心;北京化学试剂研究所;兰州大学物理科学与技术学院 国家自然科学基金,国家重点基础研究发展规划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
姜永睿;胡雄伟;杨沁清;王红杰;杨澜;郑金红;谢二庆.溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究,光子学报,2004,33(9):1140-1143 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
