具有复合埋层的新型SIMON材料的制备
| Data(s) |
2004
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|---|---|
| Resumo |
采用氮氧共注入方法制备了新型的SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen)SOI材料.采用不同的制备方法分别制作出样品并进行了结构测试和分析,发现SIMON材料的结构和质量对注入条件和退火工艺非常敏感.并对各种氮氧复合注入技术做了分析和比较,发现氮氧分次注入可以得到更好的结构和性能. 国家杰出青年基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
易万兵;陈猛;张恩霞;刘相华;陈静;董业民;金波;刘忠立;王曦.具有复合埋层的新型SIMON材料的制备,半导体学报,2004,25(7):814-818 |
| Palavras-Chave | #微电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
