利用GaAs基上InGaAs应变层制备有序排列的InAs量子点


Autoria(s): 张春玲; 赵凤瑗; 徐波; 金鹏; 王占国
Data(s)

2004

Resumo

在GaAs基In x Ga1-xAs( x =0.15)应变层上生长了InAs 量子点(QD)层,通过分析各层之间的应力状况和位错的演变过程,配合生长过程中对反射式高能电子衍射仪(RHEED)实时监测,并观察生长后的表面形貌,发现可以通过控制应变层厚度来控制应变层表面布纹结构的宽度,而且在应变层厚度低于位错增殖的临界厚度时布纹宽度较窄.如果同时控制QD层在刚刚出点,则QD主要沿着较窄的布纹结构排列,从而得到有序排列的QD.

国家重点基础研究发展计划,国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17319

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103297

Idioma(s)

中文

Fonte

张春玲;赵凤瑗;徐波;金鹏;王占国.利用GaAs基上InGaAs应变层制备有序排列的InAs量子点,半导体学报,2004,25(12):1647-1651

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文