火焰水解法制备硅基二氧化硅材料的析晶研究
| Data(s) |
2004
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| Resumo |
用火焰水解法在硅基片上制备了掺杂GeO2和B2O2的SiO2光波导材料.用X射线物相衍射法(XRD)分析了掺杂和烧结工艺对材料的析晶现象的影响.结果表明,当烧结时采取自然降温,GeO2-SiO2材料由于严重析晶而完全碎裂;而当烧结后期采取快速降温,析晶过程受到很大抑制,但仍有析晶.在此GeO2-SiO2材料中掺入适量的B2O3后,得到了完全非晶态的GeO2-B2O3-SiO2材料,但B2O3掺入量过多时,又会导致析晶. 用火焰水解法在硅基片上制备了掺杂GeO2和B2O2的SiO2光波导材料.用X射线物相衍射法(XRD)分析了掺杂和烧结工艺对材料的析晶现象的影响.结果表明,当烧结时采取自然降温,GeO2-SiO2材料由于严重析晶而完全碎裂;而当烧结后期采取快速降温,析晶过程受到很大抑制,但仍有析晶.在此GeO2-SiO2材料中掺入适量的B2O3后,得到了完全非晶态的GeO2-B2O3-SiO2材料,但B2O3掺入量过多时,又会导致析晶. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:05:50导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:05:50Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4671.pdf: 158191 bytes, checksum: 10e4cc8b96249c7f12db2e9de897332b (MD5) Previous issue date: 2004 国家重点基础研究发展规划资助项目,国家高技术研究发展计划资助项目,国家自然科学基金资助项目 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心 国家重点基础研究发展规划资助项目,国家高技术研究发展计划资助项目,国家自然科学基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
郜定山;李建光;安俊明;李健;夏君磊;王红杰;胡雄伟.火焰水解法制备硅基二氧化硅材料的析晶研究,半导体光电,2004,25(6):496-498 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
