非晶硅碳(a-SiC:H)薄膜光学常数的透射谱表征
| Data(s) |
2005
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| Resumo |
报道了一种用透射谱数据分析法计算非晶硅碳薄膜的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙等光学常数的方法和程序.这一方法引用有效谐振子模型理论的折射率色散关系,所有公式均为解析表达式,便于进行数据处理,无须专用软件,使用Excel即可完成,适用于多种半导体薄膜材料.将这种方法应用于PECVD方法制备的非晶硅碳(a-SiC∶H)薄膜,对其光学特性进行了分析. 报道了一种用透射谱数据分析法计算非晶硅碳薄膜的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙等光学常数的方法和程序.这一方法引用有效谐振子模型理论的折射率色散关系,所有公式均为解析表达式,便于进行数据处理,无须专用软件,使用Excel即可完成,适用于多种半导体薄膜材料.将这种方法应用于PECVD方法制备的非晶硅碳(a-SiC∶H)薄膜,对其光学特性进行了分析. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:05:27导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:05:27Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4597.pdf: 286472 bytes, checksum: a6f9bee9b3c8e3afe7380ace6472b763 (MD5) Previous issue date: 2005 国家重点基础研究发展计划资助项目 中科院半导体所 国家重点基础研究发展计划资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
胡志华;廖显伯.非晶硅碳(a-SiC:H)薄膜光学常数的透射谱表征,半导体学报,2005,26(1):34-37 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
