高性能1mm AlGaN/GaN功率HEMTs研制


Autoria(s): 邵刚; 刘新宇; 和致经; 刘健; 魏珂; 陈晓娟; 吴德馨; 王晓亮; 陈宏
Data(s)

2005

Resumo

报道了基于蓝宝石衬底的高性能1mmAlGaN/GaNHEMTs功率器件.为了提高微波功率器件性能,采用新的欧姆接触和新型空气桥方案.测试表明,器件电流密度为0.784A/mm,跨导197mS/mm,击穿电压大于40V,截止态漏电较小,1mm栅宽器件的单位截止频率达到20GHz,最大振荡频率为28GHz,功率增益为11dB,功率密度为1.2W/mm,PAE为32%,两端口阻抗特性显示了在微波应用中的良好潜力.

报道了基于蓝宝石衬底的高性能1mmAlGaN/GaNHEMTs功率器件.为了提高微波功率器件性能,采用新的欧姆接触和新型空气桥方案.测试表明,器件电流密度为0.784A/mm,跨导197mS/mm,击穿电压大于40V,截止态漏电较小,1mm栅宽器件的单位截止频率达到20GHz,最大振荡频率为28GHz,功率增益为11dB,功率密度为1.2W/mm,PAE为32%,两端口阻抗特性显示了在微波应用中的良好潜力.

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国家重点基础研究发展计划,中国科学院重点创新

中国科学院微电子研究所;中国科学院半导体研究所;中国科学院物理研究所

国家重点基础研究发展计划,中国科学院重点创新

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17203

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103239

Idioma(s)

中文

Fonte

邵刚;刘新宇;和致经;刘健;魏珂;陈晓娟;吴德馨;王晓亮;陈宏.高性能1mm AlGaN/GaN功率HEMTs研制,半导体学报,2005,26(1):88-91

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文