SOI波导弯曲损耗改善方法的研究


Autoria(s): 陈媛媛; 余金中; 陈少武; 樊中朝
Data(s)

2005

Resumo

采用有效折射率方法EIM(Effective Index Method)和二维束传播算法(2D-BPM)对SOI(Silicon-on-insulator)波导弯曲损耗的改善方法进行了模拟分析.模拟发现,在波导连接处引入偏移量和在波导外侧刻槽等两种不同方法都能有效减小弯曲损耗,并且后者的效果更明显.同时通过实验获得了验证.对R=16mm、横向位移为70μm的弯曲波导,通过刻槽方法将插入损耗降低了5dB,基本消除了弯曲所带来的附加损耗.

采用有效折射率方法EIM(Effective Index Method)和二维束传播算法(2D-BPM)对SOI(Silicon-on-insulator)波导弯曲损耗的改善方法进行了模拟分析.模拟发现,在波导连接处引入偏移量和在波导外侧刻槽等两种不同方法都能有效减小弯曲损耗,并且后者的效果更明显.同时通过实验获得了验证.对R=16mm、横向位移为70μm的弯曲波导,通过刻槽方法将插入损耗降低了5dB,基本消除了弯曲所带来的附加损耗.

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国家科技部"973"计划,"863"计划,国家自然科学基金资助项目

中国科学院半导体研究所

国家科技部"973"计划,"863"计划,国家自然科学基金资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17187

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103231

Idioma(s)

中文

Fonte

陈媛媛;余金中;陈少武;樊中朝.SOI波导弯曲损耗改善方法的研究,红外与毫米波学报,2005,24(1):53-55

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文