1.55μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟
| Data(s) |
2005
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| Resumo |
建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好. 建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1.55μm Si基MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechnical-Systems)可调谐滤波器的调谐特性.模拟调谐系数与实验结果吻合较好. 于2010-11-23批量导入 zhangdi于2010-11-23 13:04:44导入数据到SEMI-IR的IR Made available in DSpace on 2010-11-23T05:04:44Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4502.pdf: 529609 bytes, checksum: c6f81ac2f9470c4b6d49a285605fcfb9 (MD5) Previous issue date: 2005 国家重点基础研究发展规划,863高技术发展计划,国家自然科学基金 中国科学院半导体研究所 国家重点基础研究发展规划,863高技术发展计划,国家自然科学基金 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
左玉华;毛容伟;王良臣;余金中;王启明.1.55μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟,光子学报,2005,34(4):525-528 |
| Palavras-Chave | #光电子学 |
| Tipo |
期刊论文 |
