径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟
| Data(s) |
2005
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|---|---|
| Resumo |
对径向三重流MOCVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.在模拟计算中,分别改变反应腔几何尺寸、导流管位置、流量、压强、温度等条件,得到反应器流场、温场、浓度场的相应变化.根据对模拟结果的分析,发现反应腔内涡旋首先在流动的转折处产生,上下壁面温差的加大使涡旋增大,中管进口流量的增加对涡旋产生抑制作用,内管和外管流量的增加对涡旋产生扩大作用.得出输运过程的优化条件为:反应腔上下壁靠近,导流管水平延长,中管进口流量尽量大于内、外管流量,压强尽量低于105Pa,上下壁面温差尽量减小等. 国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
左然;张红;刘祥林.径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟,半导体学报,2005,26(5):977-982 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
