溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究
| Data(s) |
2005
|
|---|---|
| Resumo |
采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO3纳米薄膜.用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能,结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20～30nm,折射率1.75～1.85,晶粒度35～60nm,表面平均粗糙度RMS为3.4～3.8 nm,晶粒形貌呈类圆锥形态. 国家自然科学基金资助项目 |
| Identificador | |
| Idioma(s) |
中文 |
| Fonte |
刘超;李建平;曾一平.溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究,半导体技术,2005,30(5):18-21 |
| Palavras-Chave | #半导体材料 |
| Tipo |
期刊论文 |
