低功率消耗、响应快速的SOI基可变光学衰减器


Autoria(s): 贺月娇; 方青; 辛红丽; 陈鹏; 李芳; 刘育梁
Data(s)

2005

Resumo

采用绝缘体上Si(SOI)材料制作了马赫-曾德干涉型(MZI)SOI热光可变光学衰减器(VOA),利用隔热槽有效降低器件的功率消耗,提高响应速度.在1 510~1 610 nm波长范围内动态调节范围可达到0~29 dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响.最大衰减(29 dB)时功率消耗由360 mW降低为130 mW,器件响应速度提高1倍,响应时间由大于100 μs降为小于50 μs.

采用绝缘体上Si(SOI)材料制作了马赫-曾德干涉型(MZI)SOI热光可变光学衰减器(VOA),利用隔热槽有效降低器件的功率消耗,提高响应速度.在1 510~1 610 nm波长范围内动态调节范围可达到0~29 dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响.最大衰减(29 dB)时功率消耗由360 mW降低为130 mW,器件响应速度提高1倍,响应时间由大于100 μs降为小于50 μs.

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国家"863"计划资助项目

中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心

国家"863"计划资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16989

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103132

Idioma(s)

中文

Fonte

贺月娇;方青;辛红丽;陈鹏;李芳;刘育梁.低功率消耗、响应快速的SOI基可变光学衰减器,光电子·激光,2005,16(6):642-645

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文