快速热退火对高应变InGaAs/GaAs量子阱的影响


Autoria(s): 苗振华; 徐应强; 张石勇; 吴东海; 赵欢; 牛智川
Data(s)

2005

Resumo

用固态分子束外延技术生长了高应变.In0.45Ga0.55As/GaAs量子阱材料.研究了快速热退火对高应变InGaAs/GaAs量子阱材料光学性质的影响.本文采用假设InGaAs/GaAs量子阱中的In—Ga原子扩散为误差函数扩散并解任意形状量子阱的薛定谔方程的方法,对不同退火温度下InGaAs/GaAs量子阱室温光致发光峰值波长拟合,得到了In原子在高应变InGaAs/GaAs量子阱中的扩散系数以及扩散激活能(O.88ev).

国家自然科学基金资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16783

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103029

Idioma(s)

中文

Fonte

苗振华;徐应强;张石勇;吴东海;赵欢;牛智川.快速热退火对高应变InGaAs/GaAs量子阱的影响,半导体学报,2005,26(9):1749-1752

Palavras-Chave #半导体物理
Tipo

期刊论文