硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究


Autoria(s): 毛容伟; 成步文; 李传波; 左玉华; 滕学公; 罗丽萍; 余金中; 王启明
Data(s)

2005

Resumo

制作了一种低成本硅基1.55μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为12.5nm,调谐范围14.5nm,并且获得1.8GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.

制作了一种低成本硅基1.55μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为12.5nm,调谐范围14.5nm,并且获得1.8GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.

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国家重点基础研究发展规划973项目,863项目,国家自然科学基金资助

中国科学院半导体研究所

国家重点基础研究发展规划973项目,863项目,国家自然科学基金资助

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16781

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103028

Idioma(s)

中文

Fonte

毛容伟;成步文;李传波;左玉华;滕学公;罗丽萍;余金中;王启明.硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究,光子学报,2005,34(12):1783-1787

Palavras-Chave #光电子学
Tipo

期刊论文