掺镨GaN薄膜的微结构与光致发光


Autoria(s): 宋淑芳; 陈维德; 张春光; 卞留芳; 许振嘉
Data(s)

2005

Resumo

利用背散射/沟道(RBS/C)技术、原子力显微镜(AFM)和光致发光(PL)谱研究了掺镨GaN薄膜的微结构和可见光发光特性。RBS/C结果表明,注入Pr后,在注入层引入了晶格损伤;注入样品经1050℃退火后,部分损伤得到恢复,但是晶体质量没有恢复到注入前的状态。AFM结果表明,注入Pr后,表面凹凸不平,而且在注入区引起了膨胀,膨胀幅度达到23.368nm左右。PL结果表明,在850—1050℃退火,发光强度按e指数增加;当退火温度达到1050℃,发光强度最强,经过数据拟合可得Pr^3+的热激活能为5.8eV。

国家自然科学基金资助项目

Identificador

http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16757

http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/103016

Idioma(s)

中文

Fonte

宋淑芳;陈维德;张春光;卞留芳;许振嘉.掺镨GaN薄膜的微结构与光致发光,发光学报,2005,26(4):513-516

Palavras-Chave #半导体材料
Tipo

期刊论文