LiNbO3电光调制器的小信号功率测试法研究

阐述了小信号功率测试法测量LiNbO3电光调制器频率响应的原理，对传统的小信号功率测试法加以改进，在以网络分析仪（VNA）为主的常用扫频测试系统基础上建立起一套简单可靠的新型测试系统，实现了计算机控制自动测量。改进的测试方法考虑了测试系统中微波器件固有频响对测试结果的影响，并通过对器件进行校准加以消除。通过实验表明该方法的准确性。

阐述了小信号功率测试法测量LiNbO3电光调制器频率响应的原理，对传统的小信号功率测试法加以改进，在以网络分析仪（VNA）为主的常用扫频测试系统基础上建立起一套简单可靠的新型测试系统，实现了计算机控制自动测量。改进的测试方法考虑了测试系统中微波器件固有频响对测试结果的影响，并通过对器件进行校准加以消除。通过实验表明该方法的准确性。

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国家“863”计划资助项目,国家“973”计划资助项目,国家基金委重大国际合作资助项目

中国科学院半导体研究所

国家“863”计划资助项目,国家“973”计划资助项目,国家基金委重大国际合作资助项目