色散效应对GaAs太阳电池双层减反射膜的影响

考虑双层减反射膜材料的折射率色散效应，采用光学干涉矩阵法计算了SiO2／ZnSe和SiO2／ZnS两种GaAs太阳电池双层减反射膜的反射率与波长的函数曲线，以及加权平均反射率随着顶层减反射膜SiO2厚度变化的函数曲线，并与未考虑色散效应的情况进行了对比．计算结果表明，色散效应对双层减反射膜的反射率有较大的影响，特别是对300-500nm波长范围的影响更大，且对不同材料的减反射膜的影响也是不同的．与未考虑色散效应的情况相比，考虑色散效应后，SiO2／ZnSe双层减反射膜的最小加权平均反射率从1．14％增加到1．55％，而SiO2／ZnS双层减反射膜的最小加权平均反射率却从1．49％减小到1.46％．

考虑双层减反射膜材料的折射率色散效应，采用光学干涉矩阵法计算了SiO2／ZnSe和SiO2／ZnS两种GaAs太阳电池双层减反射膜的反射率与波长的函数曲线，以及加权平均反射率随着顶层减反射膜SiO2厚度变化的函数曲线，并与未考虑色散效应的情况进行了对比．计算结果表明，色散效应对双层减反射膜的反射率有较大的影响，特别是对300-500nm波长范围的影响更大，且对不同材料的减反射膜的影响也是不同的．与未考虑色散效应的情况相比，考虑色散效应后，SiO2／ZnSe双层减反射膜的最小加权平均反射率从1．14％增加到1．55％，而SiO2／ZnS双层减反射膜的最小加权平均反射率却从1．49％减小到1.46％．

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国家自然科学基金,国家重大基础研究发展规划

中国科学院半导体研究所

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